技術(shù)規(guī)格

參數(shù)

真空泵組

 渦輪分子泵+無油隔膜泵

抽速

 ≥隔膜泵 0.7 m³/h +分子泵30.5 m³/h

極限真空

  < 5*10^-2 Pa

工作氣壓

  0.5-2Pa

氣體控制

  MFC氣體質(zhì)量流量控制器（50 SCCM N₂）

泵組啟動(dòng)時(shí)間

  < 3-5Min

濺射計(jì)時(shí)

  0-300S

真空規(guī)

  高真空復(fù)合真空計(jì)（測(cè)量范圍：大氣壓-10^-3Pa）

腔室尺寸

  ~Ø150 *120mm

旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)

  直徑：80mm；轉(zhuǎn)速：60RPM，靶基距：55-70mm連續(xù)可調(diào)

濺射靶材

  靶材尺寸 Ø30 * 0.2-1mm/2片，支持單靶濺射和雙靶順序?yàn)R射兩種模式

濺射電源

  恒功率DC濺射電源 Max. 30W，Max. 100mA，0-800V DC

進(jìn)氣口

  Ø6mm氣管

操作方式

  觸摸屏控制，控制系統(tǒng)提供互鎖保護(hù)功能

重量

  ~15kg

尺寸

  ~250mm長 *360mm深 *374mm高

電源

  100-240V AC，180W Max.

質(zhì)保

  一年

備注

  以上所列技術(shù)規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知，如有疑問請(qǐng)聯(lián)系我們